Ссылка на скачивания файла в формате .doc находится в конце странички
2.2.1 Выбор материалы подложки
Материалом подложки в данной микросхеме является ситалл.
Ситалл — стеклокерамический материал, получаемый путем термообработки стекла. По свойствам превосходит стекло, хорошо обрабатывается.
Характеристики:
Ситалл обладает высокой химической стойкостью к кислотам, не порист, дает незначительную объемную усадку, газонепроницаем, при высоких имеет малую газоотдачу.